Белоус Игорь Александрович
Кандидат физико-математических наук, доцент
ауд.1631
Измерение четырехзондовым методом электрической проводимости подложек кремния
Авторы ВВГУ
- Белоус Игорь Александрович
Правообладатель:
ИАПУ ДВО РАН: Цуканов Д.А., Рыжков С.В., Рыжкова М.В., ВГУЭС: Белоус И.А.
Регистрационный номер:
2009613648
Дата подачи заявки:
30.12.2008
Дата регистрации:
08.07.2009
Год:
2009
Реферат (описание программы):
Описана программа управления аппаратно-программным комплексом для измерения поверхностной электрической проводимости подложек кремния in situ четырехзондовым методом
Файлы:
