Зотов Андрей Вадимович

Доктор физико-математических наук, профессор
Кафедра информационных технологий и систем
Профессор
1448
8(423)2404066
ГлавнаяЗотов А. В.ПубликацииПатенты и свидетельства на ПО → Способ создания проводящих нанопроволок на поверхности полупроводниковых подложек

Способ создания проводящих нанопроволок на поверхности полупроводниковых подложек

Авторы ВГУЭС:
Зотов Андрей Вадимович

Патентообладатель: Институт автоматики и процессов управления ДВО РАН

Номер патента: № 2007143736/28(047915)

Редакция МКП: H01L 21/28 (2006/01)

Класс МКП: B82B 3/00 (2006/01)

Дата подачи заявки: 26.11.2007

Дата опубликования: 26.12.2008

Номер бюллетеня: 28(047915)

Год: 2008

Файлы:
Патент(.pdf, 63.72 Kb)